运行中电气设备的SF6气体湿度监测是非常重要的。气体湿度的高低对电气设备的灭弧性能、绝缘强度以及电气设备的寿命影响很大。

断路器隔室SF6气体湿度要求较严，这主要考虑到灭弧隔室在灭弧时产生高温，高温下SF6气体易分解或与气体中水分等杂质合成一些有毒或腐蚀性化学物。如SF4、SO2、SOF2等，腐蚀性物质明显会腐蚀灭弧内的金属元件，增大主触头的接触电阻和缩短使用寿命。对于频繁操作的（如无功补偿设备等）。若水分含量偏高会明显腐蚀灭弧触头。使触头变短。最终由于灭弧触头不能灭弧而导致断路器爆炸事故。

从《SF6电气设备中气体管理和检测导则》中知，SF6设备在充入SF6气体24h后进行气体湿度测量。其值为交接验收值。设备运行后半年内再测量一次气体湿度。以后每1~3年测量一次。根据《SF6电气设备气体监督细则》，对于用气量小且充气压力低于350kＰa的SF6气体湿度外，运行中，只要不发生漏气，可不必进行气体湿度测量。SF6设备气体湿度测量要注意如下几点：

（1）定期地测量应选择干燥、湿度低的季节，最后气候条件相似。因为环境温度、湿度对于SF6气体的湿度的测量影响较大。

（2）测量仪器使用前应采用干燥的氮气或合格的新SF6气体冲洗测量管道。必须使用专用管道，长度尽量短，一般在5m内为佳。

（3）在测量前要充分清抹设备的SF6气体测量接口，特别是户外的设备，必要时可用电热吹风机干燥接口。

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